Thوظيفة ه:   تتمثل وظيفة نظام ترسيب البخار الكيميائي في ترسيب الأغشية الرقيقة على الركيزة، وتحسين خصائص المواد، وتصنيع الأجهزة الوظيفية، وتحقيق تعديل السطح، والتحكم بدقة في سمك الأغشية الرقيقة، وتحسين جودة المنتج، والمساعدة في البحث والتطوير من مواد جديدة، واستخدامها في تصنيع الدوائر المتكاملة، وما إلى ذلك، مع مزايا القدرة العالية على التحكم في العملية، والقدرة على الإنتاج على نطاق واسع، وربما بتكلفة أقل.