وحدة مضخة جزيئية عالية التفريغ VET-004، ذات فرن أنبوبي ثلاثي الاتجاهات، مصممة خصيصًا لمعالجة المواد متعددة المحطات واختبار بيئة التفريغ. تدمج مضخة جزيئية عالية الكفاءة 600 لتر/ثانية وثلاثة أفران أنبوبية مستقلة. تدعم تشغيلًا تعاونيًا في تفريغ نهائي ≤1.5×10⁻⁵Pa ودرجة حرارة عالية 1200 درجة مئوية. وهي مناسبة لأبحاث وتطوير وإنتاج عمليات التفريغ العالي في مجالات أشباه الموصلات، والطاقة الجديدة، والمواد النانوية، وغيرها.
جهاز تعبئة النيتروجين بالتفريغ VET-005 هو جهاز صناعي يجمع بين استخراج التفريغ الفعال وتعبئة النيتروجين بدقة. يدعم هذا الجهاز تفريغًا نهائيًا ≤-100 كيلو باسكال وإمدادًا ثابتًا بالنيتروجين 0.7 ميجا باسكال. مزود بوحدة تحكم مستقلة بمحطتين، وهو مناسب للتغليف الإلكتروني، وبطاريات الطاقة الجديدة، وتغليف الأدوية، وغيرها من الحالات التي تتطلب بيئة تفريغ صارمة وحماية من الغازات الخاملة.
VET-001 وحدة تفريغ ذكية تعمل بالتحكم الرقمي بالحاسوب (CNC) مصممة لمجال هندسة التفريغ. تتكون من مضخة روتس سريعة (بمعدل ضخ 30 لتر/ثانية) ومضخة تفريغ ميكانيكية دوارة ريشية أمامية (بمعدل 8 لتر/ثانية). يصل أقصى ضغط تفريغ إلى 5×10⁻¹ باسكال. وهي مناسبة لحالات التفريغ عالية الدقة، مثل تصنيع أشباه الموصلات، ومحاكاة بيئة التفريغ المختبرية، والطلاء بالتفريغ، وغيرها. وهي تُعدّ المعدات الأساسية لاختبار هندسة التفريغ، والبحث والتطوير، والإنتاج.
يركز نظام اختبار الفراغ الحراري VET-007 على المجالات الراقية مثل الفضاء والأقمار الصناعية، ويحاكي البيئة القاسية للفضاء، ويحتوي على فراغ شديد 1 × 10⁻⁵Pa ونطاق درجة حرارة واسع من -180℃~200℃، ويدمج محاكاة الطاقة الشمسية ووظائف التسخين بالأشعة تحت الحمراء لتوفير بيئة اختبار دقيقة للتحقق من موثوقية المنتج.
صُممت آلة الضخ المسبق الفراغي المنقسمة VET-003 خصيصًا لخطوط الإنتاج المعقدة. فهي تُحسّن المساحة وتُسهّل التركيب بفضل هيكل التحكم المنفصل. وهي مُجهزة بمستشعر فراغ Pirani عالي الدقة، وتدعم الضبط الذكي لدرجة الفراغ، وكشف التسربات، وتوافق هيكل المضخة بسلاسة، وهي مناسبة لمعالجة الفراغ بكفاءة في سيناريوهات متعددة، مثل التبريد، والطلاء الفراغي، والمختبرات.