وحدة مضخة جزيئية أنبوبية ثلاثية الاتجاهات عالية التفريغ، معدل المضخة الجزيئية Iso3666، 600 لتر/ثانية، الضغط الأقصى ≤1.5×10⁻⁵Pa

وحدة مضخة جزيئية أنبوبية ثلاثية الاتجاهات عالية التفريغ، معدل المضخة الجزيئية Iso3666، 600 لتر/ثانية، الضغط الأقصى ≤1.5×10⁻⁵Pa

مقدمة المنتج

باعتباره الجهاز الأساسي لهندسة الفراغ ومعالجة درجات الحرارة العالية، يتخطى جهاز VET-004 قيود المحطة الواحدة التقليدية، ويتبنى تصميمًا ثلاثي الاتجاهات متوازيًا: يبلغ قطر كل فرن أنبوبي φ120 مم، ويمكن التحكم في درجة حرارته بشكل مستقل (درجة حرارة الغرفة - 1200 درجة مئوية). وهو مزود بمضخة جزيئية بسعة 600 لتر/ثانية ومضخة دوارة ريشية بسعة 9 لتر/ثانية لتحقيق سرعة في الفراغ من الضغط الجوي إلى مستوى 10⁻⁵ باسكال في غضون 30 دقيقة. يدعم الجهاز مراقبة فورية لمعلمات متعددة، مثل درجة الفراغ ودرجة الحرارة وتدفق الغاز، ويحتوي على نظام ربط ذكي مدمج. عندما تكون درجة الفراغ أقل من الحد الأقصى، يتم تفعيل آلية الحماية تلقائيًا لضمان استقرار وتكرار تفاعلات المواد في بيئات درجات الحرارة العالية. وهو خيار مثالي لمختبرات الجامعات ومراكز البحث والتطوير التابعة للشركات وخطوط إنتاج التصنيع الدقيق.

مميزات المنتج

المعالجة المتوازية ثلاثية الاتجاهات: التحكم بشكل مستقل في أفران الأنابيب ثلاثية الاتجاهات، ودعم التشغيل المتزامن للعمليات بدرجات حرارة مختلفة ودرجات فراغ، وزيادة الكفاءة بنسبة 300%.

أداء فراغ عالي للغاية: مضخة جزيئية + مضخة دوارة دوارة العادم المشترك، الضغط النهائي ≤1.5×10⁻⁵Pa، تلبية متطلبات الفراغ الصارمة لترسيب الأغشية الرقيقة، ونمو البلورات، وما إلى ذلك.

التحكم الدقيق في درجة الحرارة: تم تجهيز كل فرن أنبوبي بجهاز تحكم ذكي في درجة الحرارة PID، مع دقة التحكم في درجة الحرارة ±1 درجة مئوية، ويدعم الضبط الحر لمعدل التسخين من 0 إلى 20 درجة مئوية/دقيقة.

تصميم معياري: يمكن تفكيك المضخة الجزيئية ومضخة الريشة الدوارة للصيانة، كما يدعم أنبوب الفرن الأنبوبي الاستبدال السريع، مما يقلل من وقت التوقف وتكاليف الصيانة.

نظام حماية السلامة: إنذار الحمل الزائد في درجات الحرارة العالية، وإيقاف تشغيل قفل تسرب الفراغ، وتصميم غلاف الفرن المضاد للحروق لضمان السلامة التشغيلية.

التكيف مع مصدر الغاز المتعدد: يتم حجز واجهة مدخل الهواء ثلاثية الاتجاهات (تدعم الأرجون والنيتروجين والهيدروجين وما إلى ذلك)، متوافقة مع مقياس تدفق الكتلة MFC للتحكم بدقة في تدفق الغاز.

معيار مرجعي دولي

ISO 3666:2015 "تكنولوجيا الفراغ - مقياس الفراغ - معلمات الأداء وطرق المعايرة": تتوافق المعايرة الدقيقة لأجهزة استشعار الفراغ مع المعايير الدولية لضمان موثوقية بيانات الضغط.

ASTM E2149-13 "طريقة اختبار معدل إطلاق الغازات من المواد في ظل ظروف الفراغ الديناميكية": تدعم وظيفة اكتشاف معدل إطلاق الغازات من المواد وتلبي متطلبات اختبار توافق الفراغ للمواد الفضائية.

IEC 61010-1:2010 "متطلبات السلامة للمعدات الكهربائية المستخدمة في القياس والتحكم والاستخدام المختبري": لقد اجتاز النظام الكهربائي شهادة حماية الحمل الزائد واكتشاف الأعطال الأرضية ويتوافق مع لوائح السلامة المختبرية.

GB/T 16800-2012 "تكنولوجيا الفراغ - شفة الفراغ العالي للغاية": تعتمد واجهة خط الأنابيب على شفة الفراغ العالي للغاية CF35، ويصل أداء الختم إلى مستوى معدل تسرب 10⁻⁹Pa・m³/s.

استخدام المنتج

البحث في علوم المواد: نمو أنابيب الكربون النانوية، وترسيب فيلم الجرافين، والتلدين الفراغي لسبائك المعادن

تصنيع أشباه الموصلات: التجفيف بالتفريغ على مستوى الرقاقة، وإزالة الغازات من رقاقة LED قبل التعبئة والتغليف

مجال الطاقة الجديد: تلبيد مادة أقطاب بطارية الليثيوم، وتخليق إلكتروليت بطارية الحالة الصلبة في الفراغ

التحليل والاختبار: تقييم نشاط المحفز (اختبار امتصاص/إزالة الغاز في بيئة الفراغ)

الجامعات ومؤسسات البحث: تجربة مقارنة متعددة المحطات، وتدريس محاكاة بيئة الفراغ عالية الحرارة

المعايير الفنية

اختبار الأشياء وعناصر الاختبار

اختبار الكائنات

بطانة فرن الأنابيب ومكونات الختم

رقائق أشباه الموصلات، رقائق السيليكون الكهروضوئية، الركائز الخزفية

مواد مسحوق النانو (مثل أكسيد الجرافين، والأطر العضوية المعدنية MOFs)

عينات السبائك عالية الحرارة، عينات المواد الفائقة التوصيل

عناصر الاختبار

وقت إنشاء الفراغ: الوقت المطلوب للضخ من الضغط الجوي إلى 10⁻³Pa/10⁻⁵Pa

توحيد درجة الحرارة: توزيع درجة الحرارة المحوري لفرن الأنبوب (ضمن ±5 درجة مئوية مؤهل)

معدل إزالة الغازات من المواد: حجم إزالة الغازات لكل وحدة مساحة من العينة تحت بيئة فراغ عالية الحرارة

موثوقية الختم: معدل التسرب عند اتصال شفة CF (≤1×10⁻⁹Pa・m³/s)

كفاءة المضخة الجزيئية: اختبار استقرار معدل الضخ في نطاقات فراغ مختلفة (قسم فراغ منخفض/عالي)