وحدة تفريغ CNC ذكية بمعدل ضخ 30 لتر/ثانية 5×10⁻¹Pa تفريغ فائق

وحدة تفريغ CNC ذكية بمعدل ضخ 30 لتر/ثانية 5×10⁻¹Pa تفريغ فائق

مقدمة المنتج

يستخدم VET-001 تقنية الجمع بين المضخة المزدوجة ونظام التحكم الذكي لتحقيق أداء فعال ومستقر من الفراغ:

▎نظام ضخ الفراغ عالي الكفاءة

تصميم ربط المضخة المزدوجة: تعمل مضخة الجذور (معدل 30 لتر/ثانية) ومضخة الريشة الدوارة (معدل 8 لتر/ثانية) على التوالي، مع أقصى فراغ يبلغ 5×10⁻¹Pa، وهو أكثر كفاءة بنسبة 40% من نظام المضخة الفردية ويلبي السيناريوهات الصعبة مع متطلبات الفراغ ≤10⁻¹Pa (مثل لحام شعاع الإلكترون والمعالجة الحرارية بالفراغ).

وضع توفير الطاقة: يتم الحكم على حمل الفراغ بشكل ذكي، حيث تعمل مضخة الريشة الدوارة فقط في مرحلة الفراغ المنخفضة، ويتم تشغيل مضخة الجذور تلقائيًا في مرحلة الفراغ العالية، مما يقلل من استهلاك الطاقة بنسبة 35% مقارنة بالوحدات التقليدية.

▎نظام CNC الذكي

التفاعل بين الإنسان والحاسوب: تعرض شاشة اللمس Weilun/Omron مقاس 7 بوصات (مفتاح باللغتين الصينية والإنجليزية) 12 معلمة مثل الفراغ ومعدل الضخ ودرجة حرارة الزيت وما إلى ذلك في الوقت الفعلي، وتدعم تتبع منحنى البيانات التاريخية (فترة التخزين ≥30 يومًا).

التحكم التلقائي: مزود بمستشعر توصيل قطعة العمل، ويبدأ النظام تلقائيًا في غضون 0.5 ثانية بعد اكتشاف الحمل، ويطلق الضغط تلقائيًا ويتوقف بعد الانتهاء من الاختبار؛ يدعم إعدادات مسبقة للبرنامج المخصص (مثل إعدادات وقت الفراغ المجزأة ووقت الاحتفاظ بالضغط).

▎حماية سلامة متعددة

الحماية الكهربائية: اكتشاف فقدان الطور (زمن الاستجابة < 0.1 ثانية)، حماية المحرك من الحمل الزائد (إيقاف التشغيل التلقائي عند 1.2 مرة من التيار المقدر)، تحذير من ارتفاع درجة حرارة زيت مضخة التفريغ (إنذار > 70 درجة مئوية).

الحماية الميكانيكية: تحتوي مضخة Roots على صمام زيت مدمج مضاد للرجوع، والذي يعزل النظام تلقائيًا عند إيقاف التشغيل لمنع بخار الزيت من تلويث غرفة التفريغ؛ الإطار المصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ المغلق بالكامل (مستوى الحماية IP54) مقاوم للغبار ومقاوم للرذاذ.

▎إمكانية التوسع المرنة

واجهة الاتصالات: واجهة RS485/Modbus TCP مخصصة لدعم إرساء نظام PLC وSCADA لتحقيق المراقبة عن بعد (مثل تحذير الفراغ في الوقت الفعلي وتشخيص الأخطاء عن بعد).

تكوين خط الأنابيب: 2 أنابيب فراغ DN16 قياسية (قابلة للتوسيع إلى 4)، ومناسبة لواجهة شفة KF/QF، ومتوافقة مع التوصيل السريع لغرف التفريغ بمواصفات مختلفة.

مميزات المنتج

• مضخة الجذور + مضخة الريشة الدوارة، معدل ضخ 30 لتر/ثانية، فراغ أقصى 5×10⁻¹باسكال، مناسب لمتطلبات الفراغ العالي وسرعة الضخ العالية المزدوجة
• شاشة تعمل باللمس + تحكم PLC أوتوماتيكي بالكامل، يدعم 10 مجموعات من تخزين البرامج المخصصة، كفاءة ضبط المعلمات زادت بنسبة 60%
• حماية كهربائية ثلاثية ضد فقدان الطور/الحمل الزائد/درجة حرارة الزيت، وتصميم ميكانيكي مضاد لعودة الزيت، لضمان سلامة التشغيل المستمر لمدة 7×24 ساعة
• متوافق مع بروتوكول Modbus، ويمكن توصيله بنظام MES المصنعي لتحقيق إدارة المجموعة وإمكانية تتبع بيانات معدات التفريغ
• خط أنابيب مفرغ قابل للتوسيع في اتجاهين، يدعم واجهة شفة DN16-DN50، متوافق مع أشباه الموصلات والمختبرات وغيرها من المعدات متعددة السيناريوهات

معيار مرجعي دولي

• ISO 3668:2017 "طريقة قياس أداء مضخات التفريغ" (البند 5 معدل الضخ؛ البند 6 الضغط الأقصى).
• GB/T 16530-2020 "مضخة التفريغ Roots" (القسم 5.1 حد الضوضاء؛ القسم 5.2 سعة الاهتزاز).
• IEC 60204-1:2018 "السلامة الكهربائية للآلات - المعدات الكهربائية" (البند 8 دائرة التحكم؛ البند 12 حماية الحمل الزائد).
• ATEX 2014/34/EU "توجيه مقاومة الانفجار" (ينطبق على النماذج المخصصة للبيئات القابلة للاشتعال والانفجار)

المعايير الفنية

اختبار الأشياء وعناصر التفتيش

كائنات الاختبار:

• معدات طلاء الفراغ (مثل غرفة الرش المغناطيسي)، معدات تصنيع رقائق أشباه الموصلات (غرفة تفريغ طلاء المقاومة للضوء)، فرن تجفيف الفراغ/جهاز التقطير المختبري، آلة التعبئة والتغليف الفراغية، معدات التجميد الفراغي.

بنود التفتيش:

• أداء الفراغ: معدل الضخ (30 متر مكعب / ساعة عند الضغط الجوي القياسي)، درجة الفراغ القصوى (5 × 10⁻¹ باسكال)، معدل ارتفاع الضغط (≤5 باسكال / دقيقة).
• توافق النظام: كفاءة التفريغ المتزامن متعدد الأنابيب، معدل تسرب واجهة الشفة (كشف مطياف كتلة الهيليوم ≤1×10⁻⁹Pa・m³/s).
• الاستقرار طويل الأمد: تقلب درجة الفراغ (≤±5%) بعد 8 ساعات من التشغيل المستمر، وارتفاع درجة حرارة مضخة الجذور (≤20 درجة مئوية).
• توفير الطاقة: استهلاك الطاقة بدون تحميل (≤1.5 كيلو واط)، منحنى استهلاك الطاقة أثناء الحمل (علاقة درجة الفراغ بالقدرة).
• الأداء الأمني: مقاومة العزل الكهربائي (≥10MΩ)، استمرارية التأريض (≤0.1Ω)، وقت الاستجابة للإغلاق في حالات الطوارئ (≤2 ثانية).